Overview

Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftstrachtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik. Das Buch ist unentbehrlich fur jeden, der sich intensiv mit der Mikromechanik befassen will; fur den Studierenden ebenso wie fur den Ingenieur in der Praxis oder den interessierten Laien.

Full Product Details

9783540187219

Table of Contents

Reviews

.. . ein wesentlicher Beitrag zu diesem sich rasch entwickelnden Gebiet ... hat es verstanden, die Beitrage hervorragender Fachleute ... zu einem Lehr- und Nachschlagewerk zu verbinden, das einen vollstandigen Uberblick uber den Stand der Mikrostrukturtechnik gibt und dem Fachmann eine Fulle von Detailwissen vermittelt. ... der Stoff sorgfaltig ausgewahlt und behandelt und vom Bildmaterial sowie der graphischen Gestaltung her von hoher Qualitat. ... (Der Fraunhofer) .. .helfen ausgewahlte Beispiele, den Anwendungsbezug zu dem zuvor Beschriebenen herzustellen. ... Einige Bemerkungen uber die Mikromechanik als kunftige Basis der Systemintegration und ein ausfuhrliches Sachverzeichnis runden das Gesamtwerk ab. Es liegt in der ... bekannten hochwertigen Qualitat in Text, Grafik und Bildwiedergabe vor. ... (Werkstattstechnik)

Author Information

Tab Content 6

Customer Reviews

Recent Reviews

Countries Available