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OverviewDie vorliegende Arbeit entstand wahrend meiner Tatigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer Institut Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Als Danke- schon fUr den groBen Rtickhalt wahrend des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Frau Helen, meinen Kinder Sammy und Kim sowie meinen Eltern. Herrn Professor Dr.-Ing. Dr. h.c. E. Westkamper danke ich fUr die wohlwollende Unter- sttitzung und Fbrderung meiner Arbeit. Mein Dank gilt auch in gleicher Weise Herrn Professor Dr. rer. nat. B. Hbfflinger ftir die Durchsicht und Ubernahme des Mitberichts. Ftir die Untersttitzung und konstruktive Diskussionen danke ich allen Kolleginnen und Kollegen. Hierbei gilt der Dank insbesondere Herrn Dr.-Ing. B. Klumpp, Herrn Dr.-Ing. M. Schweizer und Herrn Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. mult. R.D. Schraft. Ferner danke ich den Herren Dipl.-Ing. S. Mayer und cando mach. D. Limperich fUr die intensiven Fachgesprache, Kritik und Unterstiitzung. Einen besonderen Dank mochte ich auch den Herren Dr.-Ing. R. Kaun und Dipl.-Phys. U. Gommel ftir ihre ausdauernde Diskussions- bereitschaft wahrend der Entstehung dieses Werkes aussprechen. Full Product DetailsAuthor: Jochen SchließerPublisher: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG Imprint: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K Edition: illustrated edition Volume: 281 Dimensions: Width: 14.80cm , Height: 0.70cm , Length: 21.00cm Weight: 0.238kg ISBN: 9783540655602ISBN 10: 3540655603 Pages: 123 Publication Date: 26 January 1999 Audience: Professional and scholarly , Professional & Vocational Format: Paperback Publisher's Status: Active Availability: Out of stock  The supplier is temporarily out of stock of this item. It will be ordered for you on backorder and shipped when it becomes available. Language: German Table of Contents1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.1.1 Produktionssystem fur reine Anwendungen.- 2.1.2 Reinheit.- 2.1.3 Produktumgebung.- 2.1.4 Reinheitssystem.- 2.1.5 Standard Mechanical Interface (SMIF).- 2.2 Halbleiterfertigung.- 2.3 Eingesetzte Produktionssysteme fur reine Anwendungen.- 2.4 UEberprufung der Partikelreinheit in der Produktumgebung.- 3 Analyse von Produktionssystemen fur reine Anwendungen und Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten.- 3.1 Analyse der Produktionsumgebung.- 3.2 Analyse der Fertigungsgerate und -anlagen.- 3.3 Analyse des Transportes zwischen den Fertigungsgeraten und -anlagen.- 3.4 Analyse der Qualifizierungsverfahren.- 3.5 Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten.- 3.5.1 Anforderungen an ein Integrales Reinheitssystem.- 3.5.2 Anforderungen an Untersuchungsmethoden.- 3.5.3 Anforderungen an ein Qualifizierungsverfahren.- 4 Konzeption eines Integralen Reinheitssystems.- 4.1 Bewertung eingesetzter Reiner Produktionssysteme.- 4.2 Optimierungsansatze.- 4.3 Varianten der Reinheitssysteme.- 5 Entwicklung eines Verfahrens zur Qualifizierung von Reinheitssystemen.- 5.1 Konzeption des Qualifizierungsverfahrens.- 5.2 Komponenten des Qualifizierungsverfahrens.- 5.2.1 Messtechnik und Produktoberflachen.- 5.2.2 Untersuchungen zur UEberprufung der statistischen Randbedingungen.- 5.2.2.1 Eigenkontamination der Messtechnik.- 5.2.2.2 Bestimmung der Verteilungsfunktion der Messgroessen.- 5.2.3 Bestimmung der Genauigkeit der Messtechnik.- 5.3 Entwicklung des Auswertealgorithmus.- 5.3.1 Soll-Genauigkeit des Qualifizierungswertes (PWP-Wert).- 5.3.2 Anwendung des Algorithmus.- 5.4 Entwicklung einer Qualifizierungsmethode.- 6 Entwicklung von Komponenten zur stroemungstechnischen Auslegung eines Integralen Reinheitssystems.- 6.1 Reinheitssystemgerechte Produktubergabe.- 6.1.1 Untersuchungen zur Festlegung der Durchstroemrichtung.- 6.1.2 Untersuchungen zur Auswahl anwendbarer Gleichrichtertypen.- 6.1.3 Optimierung der Durchstroemung.- 6.1.3.1 Untersuchung passiver Massnahmen.- 6.1.3.2 Bestimmung der theoretischen Zusammenhange aktiver Massnahmen.- 6.1.3.3 Vorgehensweise zur Auslegung aktiver Massnahmen.- 6.1.3.4 Leitlinien zur Auslegung einer Produktubergabestation.- 6.2 Ermittlung thermischer Einflusse auf die Erstluftstroemungsverhaltnisse.- 6.2.1 Bestimmung der theoretischen Zusammenhange.- 6.2.2 Entwicklung einer Prufeinrichtung zur Simulation von thermischen Prozesseinflussen.- 6.2.2.1 Realisierung Prufmodell und Messtechnik.- 6.2.2.2 Realisierung Prufstand und Messtechnik.- 6.2.2.3 UEberprufung der theoretischen Randbedingungen des Aufbaus.- 6.2.3 Untersuchungen zur Bestimmung der Stroemungssituation.- 6.2.4 Leitlinien zur Auslegung von Integralen Reinheitssystemen.- 7 Umsetzung und Erprobung an Praxisbeispielen.- 7.1 Fertigungsgerat zum Reinigen und AEtzen.- 7.1.1 Anforderungen an das Reinheitssystem eines Fertigungsgerates zum Reinigen und AEtzen.- 7.1.2 Konstruktiver Aufbau der realisierten Loesung.- 7.1.3 UEberprufung des realisierten Reinheitssystems.- 7.2 Fertigungsanlage zum Belacken und Entwickeln.- 7.2.1 Anforderungen an das Reinheitssystem einer flexiblen fotolithografischen Fertigungsanlage.- 7.2.2 Konstruktiver Aufbau der realisierten Loesung.- 7.2.3 UEberprufung der Stroemungsverhaltnisse am Prozessmodul zum Erwarmen von Substraten.- 7.3 Diskussion der Anwendungsmoeglichkeit und Ergebnisse.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Literaturverzeichnis.ReviewsAuthor InformationTab Content 6Author Website:Countries AvailableAll regions |
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