Overview

Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchfuhrung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genugen mussen, um die geforderten Strukturgrossen bis zu wenigen 10 nm gleichmassig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Atzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht des Anwenders erlautert. Das Buch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchfuhrung der Einzelprozesse zur Integrationstechnik. Der 5. Auflage wurde 'Atomic Layer Deposition' hinzugefugt, das Kapitel zur PECVD-Abscheidung wurde erganzt und High-k-Dielektrika in Herstellung und Anwendung wurden zusatzlich eingearbeitet.

Full Product Details

9783835102453

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Dieses Lehrbuch beinhaltet eine hervorragende Darstellung der Fertigungsverfahren bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen. Metall, 06/2009 Zur 3.Auflage: Vakuumtechnik und Nasschemie sind eben nicht jedermanns Sache und dementsprechend gro ist der Bedarf an einer verst ndlichen Einf hrung in dieses Feld. Ulrich Hilleringmann ist mit seinem jetzt in der dritten Auflage vorliegendem Buch genau dies gelungen: die komplexe und umfangreiche Materie pr zise und doch stets verst ndlich darzustellen. Elektronik, 11/2003

Dieses Lehrbuch beinhaltet eine hervorragende Darstellung der Fertigungsverfahren bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen. Metall, 06/2009 Zur 3.Auflage: Vakuumtechnik und Nasschemie sind eben nicht jedermanns Sache und dementsprechend gross ist der Bedarf an einer verstandlichen Einfuhrung in dieses Feld. Ulrich Hilleringmann ist mit seinem jetzt in der dritten Auflage vorliegendem Buch genau dies gelungen: die komplexe und umfangreiche Materie prazise und doch stets verstandlich darzustellen. Elektronik, 11/200

Dieses Lehrbuch beinhaltet eine hervorragende Darstellung der Fertigungsverfahren bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen. <br> Metall, 06/2009<br> <br> Zur 3.Auflage: <br> <br> Vakuumtechnik und Nasschemie sind eben nicht jedermanns Sache und dementsprechend gross ist der Bedarf an einer verstandlichen Einfuhrung in dieses Feld. Ulrich Hilleringmann ist mit seinem jetzt in der dritten Auflage vorliegendem Buch genau dies gelungen: die komplexe und umfangreiche Materie prazise und doch stets verstandlich darzustellen. <br> Elektronik, 11/200

Dieses Lehrbuch beinhaltet eine hervorragende Darstellung der Fertigungsverfahren bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen. Metall, 06/2009 Zur 3.Auflage: Vakuumtechnik und Nasschemie sind eben nicht jedermanns Sache und dementsprechend gross ist der Bedarf an einer verstandlichen Einfuhrung in dieses Feld. Ulrich Hilleringmann ist mit seinem jetzt in der dritten Auflage vorliegendem Buch genau dies gelungen: die komplexe und umfangreiche Materie prazise und doch stets verstandlich darzustellen. Elektronik, 11/2003

Author Information

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universitat Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

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