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1.1 Von der Mikroelektronik zur Mikrosystemtechnik Es gibt zweifellos kein Gebiet der Wissenschaft und Technik des 20. Jahrhunderts, das eine vergleichbar st rmische Entwicklung erfahren hat wie die Mikroelektronik in den vergangenen 50 Jahren. Mit der Erfindung des Transistors (1948) und der Herstellung erster integrierter Schaltungen auf der Basis des Halbleitermaterials Silizium (1958) begann eine technische Revolution, die mit ihren Ergebnissen und Produkten inzwischen in fast alle Lebensbereiche unserer Gesellschaft hineinwirkt. Ohne die Erfolge der Mikroelektronik w re die moderne Informations- und Kommunikationstechnik, die inzwischen die Berufswelt vieler Menschen wesentlich ver ndert hat, nicht denkbar. Das gilt auch f r andere Bereiche wie z. B. die Me- zin-, die Verkehrs- und die Produktionstechnik. Der gro e technologische Fortschritt der Mikroelektronik beruht auf Miniaturisierung und Integration. Vor der Mikroelektronik wurden elektrische/elektronische Schaltungen aus - chanisch gefertigten Bauteilen wie Kondensatoren, Widerst nden oder Elektronenr hren - sammengef gt und individuell abgeglichen. Aufgrund der Gr e der Bauelemente war der Platzbedarf und das Gewicht hoch, die Packungs- und Funktionsdichte gering. Durch die - kroelektronik wandelte sich die Fertigung elektronischer Systeme grundlegend. Die B- elemente einer Schaltung wurden nun durch photolithographische Strukturierung und durch Schichttechnologien auf einem gemeinsamen Halbleiter-Substrat, dem Siliziumwafer, erzeugt.

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9783834814715

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Zur 2. Auflage: [...] auf fast 500 eng gesetzten Seiten wird mit teils aufw ndigen, immer anschaulichen Bildern dem Leser profundes Fachwissen vermittelt. ImpulsE, 1/2006 F r den fachlich interessierten Leser ist es wohltuend, derart kompetente Aussagen und Bewertungen zu erhalten. Vakuum in Forschung und Praxis, 04/2006 Zur 1. Auflage: Insgesamt ein sehr empfehlenswertes Buch f r alle erfahrenen Mikrosystemtechnik-Entwickler, die sich in die Methodik der mathematischen Beschreibung von Mikrosystemen einlesen und einen berblick ber die verschiedenen Verfahren verschaffen wollen. F r den Anf nger ist das Buch allerdings nur bedingt geeignet, da der mathematische Anspruch sehr hoch ist. ImpulsE 6/01

Author Information

Prof. Dr. Friedemann Voelklein lehrt im Fachbereich Physikalische Technik der FH Wiesbaden und ist Direktor des Instituts fur Mikrotechnologien (IMtech). Dr. Thomas Zetterer war wissenschaftlicher Abteilungsleiter am Institut fur Mikrotechnik Mainz (IMM) und ist jetzt in der Entwicklungsabteilung bei SCHOTT Electronic Packaging, Landshut, tatig.

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