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Full Product Details

Author:   Ulrich Mescheder
Publisher:   Springer Fachmedien Wiesbaden
Imprint:   Vieweg+Teubner Verlag
Edition:   2., überarb. und erg. Aufl. 2004
Dimensions:   Width: 17.00cm , Height: 1.70cm , Length: 24.00cm
Weight:   0.580kg
ISBN:  

9783519162568

ISBN 10:   3519162563
Pages:   292
Publication Date:   17 August 2004
Audience:   Professional and scholarly ,  Professional & Vocational
Format:   Paperback
Publisher's Status:   Active
Availability:   In Print  
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Language:   German

Table of Contents

1 Einführung und Begriffsbestimmung.- 1.1 Begriffsdefinition Mikrosystemtechnik.- 1.2 Wirtschaftliche Bedeutung.- 1.3 Aufgaben zur Lernkontrolle.- 2 Werkstoffe und technologische Grundlagen.- 2.1 Werkstoffe für MikroSysteme.- 2.2 Kristallographische Grundbegriffe.- 2.3 Werkstoffdaten von Silizium.- 2.4 Übersicht über Herstellungsverfahren.- 2.5 Aufgaben zur Lernkontrolle.- 3 Mikromechanische Sensoren.- 3.1 Si-Drucksensoren.- 3.2 Si-Beschleunigungssensoren.- 3.3 Abgeleitete mikromechanische Sensoren.- 4 Aktorik in der Mikrosystemtechnik.- 4.1 Antriebsprinzipien.- 4.2 Realisierungsbeispiele für Mikroaktoren.- 4.3 Fragen zur Lernkontrolle.- 5 Optik in der Mikrosystemtechnik.- 5.1 Integrierte Optik.- 5.2 Diffraktive Optik.- 5.3 Aufgaben zur Lernkontrolle.- 6 Systemtechniken.- 6.1 Integrationstechniken auf Chipebene.- 6.2 Verbindungstechnik auf Wafer- und Chipebene.- 6.3 Gehäusetechnik.- 6.4 Kommunikationsstrukturen innerhalb und zwischen Mikrosystemen.- 6.5 Mikrosystementwurf.- 6.6 Aufgaben zur Lernkontrolle.- A FEM-Simulation (ANSYS) mit gekoppelten Feldern.- A.1 Sensorbeschreibung.- A.2 Eingabedatei für ANSYS.- A.3 Ergebnisse der Simulation.- B Formelzeichen.- Tabellenverzeichnis.- Abbildungsverzeichnis.- Stichwortverzeichnis.

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Das Buch Mikrosystemtechnik nimmt unter den Lehrb�chern einen herausragenden Platz ein. Physik Journal, 04/2005

Das Buch Mikrosystemtechnik nimmt unter den Lehrbuchern einen herausragenden Platz ein. Physik Journal, 04/2005

Das Buch Mikrosystemtechnik nimmt unter den Lehrb chern einen herausragenden Platz ein. Physik Journal, 04/2005

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Prof. Dr. Ulrich Mescheder ist Leiter des Mikroelektronik-Laboratoriums am Fachbereich Mechatronik und Mikrosysteme der Fachhochschule Furtwangen.

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